CVD система се състои от система за доставка на газ + тръбопроводна печка + помпава система, максималната температура може да достигне 1200 градуса, 1400 градуса, 1600 градуса, 1700 градуса, отоплителната зона може да бъде единична температурна зона, двойна температурна зона, тритемпературна зона и т.н., крайният вакуум може да достигне 10-3Pa, системата за доставка на газ е регулиране на потока може да бъде протонен потокметър или плаващ потокметър, броят на смесените пътища може да бъде 2, 3, 4, 5 смесени фази.
Системата за CVD в еднотемпературна зона KTL-CVD-1400 се състои от 3-пътна система за доставка на газ + тръбопроводна печ KTL1400 + вакуумна система.
(1), дебелината на горещия край на силициевия молибден пръчка D1 е 7 мм, обикновеният производител използва 6 мм, дебелината на отоплителния край, не е лесна за огъване, повърхностното натоварване на пръчката е ниско и дълъг живот.
(2), използване на горещо огъване технология, равномерно съпротивление, дълъг живот
(3), дължината на студения край Lu е 210 мм, печката 400X300X300 е 260, обикновеният производител използва 180 мм, температурата на върха на студената печка е ниска.
(4), повърхността на силициевия молибден прът окислява некристална плътна мембрана, която може да защити силициевия молибден прът по-добре.
Празното отваряне се изключва автоматично, когато веригата претеква или тече
Атмосферна тръба печкаНо...С комуникационен интерфейс и софтуер, може да се контролират различните параметри на печката директно чрез компютър и да се наблюдава от компютъра стойността на температурата на PV и SV на печката и работата на прибора, компютърът на действителната крива за затопляне на печката ще бъде нарисуван в реално време и може да запази температурните данни за всеки момент, по всяко време може да се извади
(1), висококачествена високочиста алуминиев оксид поликристални влакна за вакуумно филтриране.
2) Използване на японски технологии.
(3), материалът на печката е с нисък топлинен капацитет и нисък топлопроводник, което води до по-малко топлинно разхлаждане, добра изолация и висок отразяващ коефициент. Температурно равновесие.
(4) Пещта е фина и дълга, устойчива на високи температури, устойчива на топлинно повишаване и силен капацитет за охлаждане
(5) Повърхността на пещта е чиста и не е лесна за отстраняване на прах.
(Всички внесени електрически уреди са сертифицирани от UL)