Система OTL-PECVD-1200 PECVD- Fornitore globale

Стая 401, сграда 2, улица Yaohua, No.1, път Kechuan, град Нанкин, провинция Jiangsu

Системата OTL-PECVD-1200 PECVD се състои от вакуумна тръба OTL1200, кварцова вакуумна камера, радиочестотно захранване, система за газоснабдяване GX, помпава система, система за измерване на вакуума.

Основни характеристики:

Превръщане на газа в кварцовата вакуумна камера в йонно състояние чрез радиочестотно захранване.

PECVD е с по-ниска температура, необходима за осаждане на химически газове, отколкото обикновените CVD.

Размерът на напрежението на отлагания филм може да бъде контролиран чрез честотата на радиочестотното захранване.

PECVD има висока скорост на отлагане на химически газове, добра равномерност, последователност и стабилност от обикновения CVD.

Широко се използва в: растежа на различни тънки филми, като: SiOx, SiNx, SiOxNy и анотипен силиций (a-Si: H) и т.н.

Системата OTL-PECVD-1200 PECVD използва шведската Kanthal съпротивна жица като отоплителни елементи, използва двойна корпусна структура и 30 програмни температурометра за контрол на температурата, изместване на фазата, контролируем силициев контрол, печката използва поликристални влакна от алуминиев оксид, тръбите на печката могат да бъдат запечатани от неръждаема стомана, фланца от неръждаема стомана е инсталирана на въздушна дъска, клапан и налягател, вакуумната степен при изпомпване може да достигне 10-3 Pa, с баланс на температурното поле, ниска повърхностна температура, бърза скорост на повишаване и понижав

Повърхностна температура до 1420°C

(2), повърхността е цвят на неръждаема стомана (много ярка, клиентите трябва да обърнат внимание, когато разпознават), няма да ръждеят, използването на повече време няма да се отхвърли.

(3) Баланс на съпротивлението, добър баланс на температурното поле

(4), отоплителни елементи: Шведски Kanthal A1 вносни съпротивни жици (съпротивните жици могат да бъдат обещани с гаранция от 2 години)

Празното отваряне се изключва автоматично, когато веригата претеква или тече

Пещта е оборудвана с комуникационен интерфейс и софтуер, който може директно да контролира различните параметри на пещта чрез компютър и да наблюдава от компютъра стойностите на температурата на PV и SV на пещта и работата на приборите, компютърът на действителната крива за затопляне на пещта ще бъде нарисуван в реално време и може да запази температурните данни за всеки момент, по всяко време може да настрои вакуума.

(1), висококачествена високочиста алуминиев оксид поликристални влакна за вакуумно филтриране.

2) Използване на японски технологии.

(3) Разстоянието и разстоянието на съпротивните жици в пещта са разположени съгласно най-оптималната японска термотехническа технология, чрез термотехнически софтуер за симулиране на температурното поле

(4) 4 седмици отопление, по-балансирана температура

(Всички внесени електрически уреди са сертифицирани от UL)