Ø Подходящ за повечето проби, включително тънки листове, прах, фрагменти, прозрачни и непрозрачни проби, без да се изисква въглеродно или златно пръскване на пробите.
Ø Микрозоналният анализ на минералите или пробите (минимум 50 ~ 100 μm) може да се извърши чрез различни размери на отворите, а също така и чрез регулиране на размера на лъча, за да се получи средната стойност на неизвестния състав на минералите.
Ø Интензивността на рентгеновата флуоресценция на електронния лъч е висока, интензивността е по-голяма от интензивността на рентгеновата възбуждане на източника с около 4-5 степени, висока чувствителност на анализа и кратко време за изпитване.
Ø Дълбочината на пробата с електронен лъч е много плитка (само около 1-2 μm) и е истински повърхностни анализи.
Ø Освен детектирането на рентгенови лъчи, които са характерни за възбуждане, не се откриват други шумни сигнали, така че резултатите от анализа са по-точни
Детекторът може да открие елементи от 11 (Na) до 92 (U). По-специално резултатите от анализа на основните елементи като Na, Mg, Al, Si, P, S, Cl, K, Ca, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn са с висока чувствителност и добра повторимост на спектралната линия.
Ø пълен анализ, вградена диагностична функция, напълно автоматична работа, софтуер за анализ с един клик, лесна работа.